高压气單元 ZK2

・代表真空体室再次反应器控制系统性／真空体室泵控制系统性 。
・备有带节省特点的进口真空用数子式压强按钮 。
 到了抽真空时展现给废气量：废气需求量  以减少90%
・考虑到正空反应器的化：吸取到用户   增大50%
：空气中花费量  下降30%
（与本子公司1级正空会等离子发生器不同于）
                                                  ・小型的、轻细化：容积 88cm3 有效的减小28% 。
                                   :性能 81g  减慢59% 。

薄型真空发生器、真空泵系统 ZQ

・对应真空发生器系统／真空泵系统 。
・宽：10mm、质量：109g（单体、带真空压力开关＋真空过滤器） 。
・数字式真空压力开关 。
・带LED显示功能 。
・可集装化 。

大型真空单元 ZR

・对应真空发生器系统／真空泵系统 。
・采用模块式设计  ，可根据所需功能进行组合 。
・采用双电磁头  ，具有自我保持功能 。
・可集装化 。
・可选择数字式真空开关、电磁阀等功能 。

小型真空单元 ZB

・对应真空发生器系统／真空泵系统 。
・高速响应：阀响应5ms、真空响应时间28ms 。
・节能：空气消耗量减少17%  ，到达真空压力提高21% 。
・体积小、重量轻：46g 。
・带真空用压力开关  ，可多同时拷贝10台 。

小型真空发生器 ZA

・全宽：9.9mm、主跨：72.9mm、全高：52.5mm、效率：50g 。
・可动部可设有 。
・降低了与吸盘直接的排水管尺寸  ，异常性增进 。
・可集装化 。

真空单元 ZX

・对应发生器系统／真空泵系统 。
・采用模块式设计  ，可根据所需功能进行组合 。
・适合用于100g以下的电子零件或小型精密零部件 。
・可集装化 。

真空发生器 ZM

・将阀和开关单元化 。
・可集装化 。
・大吸收流量提高40％ 。
・高真空压力：－84kPa 。

三级突发器 ZL

・采用3级扩散段构造  ，吸入流量增加 。
・可选择数字式真空开关、真空压力计等功能 。